2024光刻胶行业相关研究报告研报合集12份打包下载
光刻胶是一种在特定光源照射下发生局部溶解度变化的光敏材料,在集成电路制造中主要用于光刻环节。进行光刻时,在硅片上涂抹光刻胶,掩膜上印有预先设计好的电路图案,光线透过掩膜照射光刻胶,经显影液作用后光刻胶会在晶圆上形成与掩模版一致的图形,再经蚀刻将掩模版上的图案转移到晶圆上。 光刻胶是半导体制造关键材料。光刻是精细线路图形加工中最重要的工艺,决定着芯片的最小特征尺寸。通常半导体芯片在制造过程中需要进行10-50 道光刻过程,占芯片制造时间的40-50%,占制造成本的30%。