2024光刻机光刻胶相关研究报告合集32份打包下载
2022 年全球晶圆前道设备销售941 亿美元，光刻机占17%，是IC 制造的第三大设备，但却是单机价值量最大的设备。据ASML 财报测算，2022 年单台EUV 价格约1.8 亿欧元，浸没式DUV 约6500 万欧元。 光刻机的技术演进主要分为以下几个阶段。 1）UV 光刻机：用于0.25 微米及以上制程节点，UV 为紫外光，光源类型包括g-line、i-line 等。 2）干式DUV 光刻机：可用于65nm-0.35μm 制程节点，干式DUV 是指在光刻过程中使用干式透镜和深紫外线光源，该技术在20 世纪90 年代初得到了广泛应用。
